证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-065 中微半导体设备（上海）股份有限公司 关于 2023、2024、2025 年限制性股票激励计划 归属结果暨股份上市的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈 述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示：  本次股票上市类型为 股权激励股份 ；股票认购方式为 网下 ，上市股数为 5,224,051股。 本次股票上市流通总数为5,224,051股。  本次股票上市流通日期为2026 年 7 月 1 日。 根据中国证监会、上海证券交易所、中国证券登记结算有限责任公司上海分公 司有关业务规则的规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司于近日收到中国证 券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，公司于 2026 年 6 月 25 日完成了 2023 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年限制性股票 激励计划第二个归属期、2025 年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记工 作。现将有关情况公告如下： 一、 本次限制性股票归属的决策程序及相关信息披露 （一）2023 年限制性股票激励计划 （1）2023 年 3 月 30 日，公司召开第二届董事会第十一次会议，会议审议通 过了《关于公司 及其摘要的议案》 《关于公 司 的议案》以及《关于提请股东 大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划 相关议案发表了独立意见。 同日，公司召开第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司 及其摘要的议案》 《关于公司 的议案》 《关于核实公司 的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关 核查意见。 （2）2023 年 3 月 31 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露 了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》 （公告编号：2023-017），根据公司 其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就 2022 年年度股东大会审 议的公司 2023 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。 （3）2023 年 4 月 4 日至 2023 年 4 月 13 日，公司对本激励计划拟激励对象的 姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划 激励对象有关的任何异议。2023 年 4 月 14 日，公司于上海证券交易所网站 （www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2023 年限制性股票激励计划激励对 象名单的公示情况说明及核查意见》。 （4）2023 年 4 月 20 日，公司召开 2022 年年度股东大会，审议并通过了《关 于公司 及其摘要的议案》《关于公司 的议案》《关于提请股东大会授权董事 会办理股权激励相关事宜的议案》 。 （5）2023 年 4 月 21 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露 《关于公司 2023 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查 报告》。 （6）2023 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事 会第十三次会议，审议通过了《关于调整公司 2023 年限制性股票激励计划相关事 项的议案》 《关于向 2023 年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》。 公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了 核查意见。 （7）2023 年 10 月 26 日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事 会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限制性 股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。 （8）2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监 事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限 制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划 部分限制性股票的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第一个归属期符 合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。 （9）2025 年 5 月 28 日，公司召开第三届董事会第四次会议和第三届监事会 第四次会议，审议通过了《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划部分限制性 股票的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件 的议案》 。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。 （10）2026 年 3 月 30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关 于调整公司 2022 年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性股票激励计划相关事项的 议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。 （11）2026 年 6 月 3 日，公司召开第三届董事会第十三次会议，审议通过了 《关于作废处理 2023 年、2025 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》 《关于调整公司 2023 年、2024 年、2025 年及 2026 年限制性股票激励计划相关事 项的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第三个归属期、2025 年限制性 股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前 述事项进行核实并发表了核查意见。 （二）2024 年限制性股票激励计划 （1）2024 年 3 月 27 日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议 通过了《关于公司 及其摘要的议案》 《关于 公司 的议案》以及《关于提请股 东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。 同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司 及其摘要的议案》 《关于公司 的议案》 《关于核实公司 的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出 具了相关核查意见。 （2）2024 年 3 月 28 日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露 了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》 （公告编号：2024-023）。根据公司 其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就 2023 年年度股东大会审 议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。 （3）2024 年 3 月 28 日至 2024 年 4 月 10 日，公司对本激励计划拟激励对象 的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员工 对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024 年 4 月 11 日，公司于上海 证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2024 年限制性股票 激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。 （4）2024 年 4 月 17 日，公司召开 2023 年年度股东大会，审议并通过了《关 于公司 及其摘要的议案》《关于公司 的议案》《关于提请股东大会授权董事 会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。 （5）2024 年 4 月 18 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露 了《关于公司 2024 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自 查报告》 。 （6）2024 年 4 月 26 日，公司召开第二届董事会第二十三次会议与第二届监 事会第二十次会议，审议通过了《关于调整公司 2024 年限制性股票激励计划相关 事项的议案》 《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对前述事项进 行核实并发表了核查意见。 （7）2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监 事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年、2023 年及 2024 年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表 了核查意见。 （8）2025 年 4 月 17 日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会 第二次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年、2024 年限制性股票激励计划部 分限制性股票的议案》、 《关于 2022 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年 限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行 核实并发表了核查意见。 （9）2026 年 3 月 30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关 于调整公司 2022 年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性股票激励计划相关事项的 议案》。 （10）2026 年 4 月 23 日，公司召开第三届