上海市锦天城律师事务所 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金 实施情况 之 法律意见书（二） 地址：上海市浦东新区银城中路 501 号上海中心大厦 11、12 层 电话：021-20511000 传真：021-20511999 邮编：200120 目 录 目 录...... 1 声明事项...... 3 正 文...... 5 一、 本次交易方案的主要内容......5 二、 本次交易的批准和授权......5 三、 本次交易的实施情况......7 四、 本次交易的信息披露......7 五、 董事、监事、高级管理人员的变更情况......8 六、 资金占用及对外担保情况......9 七、 相关协议及承诺的履行情况......9 八、 本次交易相关后续事项......9 九、 结论...... 10 上海市锦天城律师事务所 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金实施情况之 法律意见书（二） 案号：01F20254688 致：中微半导体设备（上海）股份有限公司 上海市锦天城律师事务所（以下简称“本所”）接受中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”“上市公司”或“中微公司”）的委托，并根据上市公司与本所签订的《法律服务委托协议》，作为上市公司本次发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金事项（以下简称“本次交易”）的特聘专项法律顾问。 本所已于 2026 年 4 月 23 日出具了《上海市锦天城律师事务所关于中微半导 体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之法律意见书》（以下简称“《法律意见书》”）。 2026 年 5 月 11 日，中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”） 出具《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147 号），同意本次交易的注册申 请。2026 年 5 月 29 日，本所针对本次交易标的资产过户情况出具《上海市锦天 城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购 买资产并募集配套资金标的资产过户情况之法律意见书》；2026 年 6 月 22 日， 本所就本次交易截至 2026 年 6 月 22 日的实施情况出具《上海市锦天城律师事务 所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金实施情况之法律意见书》（以下简称“《实施情况法律意见书》”）； 2026 年 6 月 22 日，本所就本次交易中发行股份募集配套资金发行过程及认购对 象合规性出具《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金实施情况之法律意见书》（以下简称“《发行过程和认购对象合规性法律意见书》”）。现就截至本法律意见 书出具日的本次交易实施情况进行查验，并在此基础上出具《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金实施情况之法律意见书（二）》（以下简称“本法律意见书”）。 声明事项 一、本所及本所经办律师依据《中华人民共和国证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。 二、本所律师对本法律意见书所涉及有关事实的了解和判断，最终依赖于交易方向本所提供的文件、资料及所作陈述与说明，在出具本法律意见书之前，委托人及相关交易方已向本所及本所律师保证其所提供的文件、资料及所作陈述与说明的真实性、完整性和准确性，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏；文件资料为副本、复印件者，其内容均与正本或原件相符；提交给本所的各项文件的签署人均具有完全的民事行为能力，且签署行为已获得恰当、有效的授权。在调查过程中，对于本所律师认为出具本法律意见书至关重要的文件，本所律师已对该等文件的原件进行了核查。本所律师对于与出具本法律意见书至关重要而又无法得到独立证据支持的事实，依赖有关政府部门、上市公司或其他单位出具的证明文件或相关专业机构的报告发表法律意见。 三、本法律意见书仅供上市公司为本次交易之目的使用，未经本所同意，不得用作任何其他目的。 四、本所同意将本法律意见书作为上市公司本次交易所必备的法律文件，随其他材料一起披露，并依法对所出具的法律意见承担相应的法律责任。 五、除非上下文另有说明，本法律意见书中所使用的简称与《法律意见书》中的简称具有相同含义；本法律意见书中若出现总计数与分项数值之和尾数不符 的情况，均为四舍五入所致。 基于上述，本所及本所经办律师根据有关法律法规、规章和中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）、上海证券交易所（以下简称“上交所”）的有关规定，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出具法律意见如下： 正 文 一、本次交易方案的主要内容 根据上市公司第三届董事会第八次会议决议、第三届董事会第十次会议决议、2025 年年度股东会决议、交易各方签署的《发行股份及支付现金购买资产协议》《发行股份及支付现金购买资产协议之补充协议》《业绩承诺和补偿协议》、上市公司出具的《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书》等文件，本次交易方案的主要内容如下： 本次交易由发行股份及支付现金购买资产和募集配套资金两部分组成。 本次交易中，公司拟向杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等 41 名交易对方发行股份及支付现金购买其所合计持有的杭州众硅 64.69%股权。 本次交易中，公司拟向不超过 35 名符合条件的特定对象发行股票募集配套资金，募集配套资金总额不超过 150,000 万元，不超过本次交易拟以发行股份方式购买资产交易价格的 100%。最终的发行数量及价格按照本次交易经证券监管机构做出的注册方案确定。本次发行股份及支付现金购买资产不以募集配套资金的成功实施为前提，最终募集配套资金成功与否或是否足额募集不影响本次发行股份及支付现金购买资产行为的实施。 据此，本所律师认为，截至本法律意见书出具之日，本次交易方案的主要内容符合相关法律法规的规定。 二、本次交易的批准和授权 截至本法律意见书出具之日，本次交易已获得如下批准： （一）上市公司的批准和授权 2025 年 12 月 31 日，上市公司召开第三届董事会第八次会议，审议通过了 《关于公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金方案的议案》《关于< 中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金预案>及其摘要的议案》等与本次交易相关的议案，独立董事对于本次交易的相关议案召开独立董事专门会议进行了审议。 2026 年 3 月 30 日，上市公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关 于公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金方案的议案》《关于<中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）>及其摘要的议案》等与本次交易相关的议案，独立董事对于本次交易的相关议案召开独立董事专门会议进行了审议。 2026 年 4 月 23 日，上市公司召开 2025 年年度股东会，审议通过了《关于 公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金方案的议案》《关于<发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）>及其摘要的议案》等与本次交易相关的议案。 （二）交易对方的批准和授权 本次交易的交易对方杭州众芯硅、台州金石投资、宁容海川、扬州朗智、国孚领航、杭州富浙、浙江富浙、临安众芯硅、深圳达晨、临安众硅、杭州达晨、杭州芯匠、安徽丰禾、宁波蓝郡、小满投资、宁波领芯、长兴青鸟、青岛东证、石溪投资、江苏毅达、朗玛六十三号、杭州众诚芯、江苏中小基金、杭州北峰、温润贰号、中信投资、江苏疌泉、朗玛五十九号、毅达鼎祺、朗玛六十号、嘉兴邦拓、毅达太湖、宁波毅达、达晨财智、杰正投资、温润安享均已取得其内部有权决策机构关于参与本次交易的批准和授权。 （三）标的公司的批准和授权 2026 年 3 月 30 日，标的公司作出股东会决议，同意本次交易相关事项。 （四）上交所的审核 2026 年 4 月 28 日，上交所审核通过本次交易。 （五）中国证监会的批复 2026 年 5 月 11 日，中国证监会出具《关于同意中微半导体设备（上海）股 份有限公司发行股