科创半导体设备ETF鹏华(589020)持续获资金布局，存储扩产周期开启

【界面新闻】数据显示，截至2026年6月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，前十大权重股合计占比71.12%。