科创半导体设备ETF鹏华(589020)连续3天获资金净流入，半导体设备需求随存储扩产周期开启显著上行

【界面新闻】截至2026年7月13日 09:48，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.14%，成分股上海合晶上涨11.69%，龙图光罩上涨10.09%，金宏气体上涨9.28%，拓荆科技，芯源微等个股跟涨。