上海市锦天城律师事务所 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年第一次临时股东会的 法律意见书 地址：上海市浦东新区银城中路 501 号上海中心大厦 9/11/12 层 电话：021-20511000 传真：021-20511999 邮编：200120 上海市锦天城律师事务所 关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年第一次临时股东会的 法律意见书 致：中微半导体设备（上海）股份有限公司 上海市锦天城律师事务所（以下简称“本所”）接受中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）委托，就公司召开 2026 年第一次临时股东会（以下简称“本次股东会”）的有关事宜，根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《上市公司股东会规则》等法律、法规、规章和其他规范性文件以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，出具本法律意见书。 为出具本法律意见书，本所及本所律师依据《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，对本次股东会所涉及的相关事项进行了必要的核查和验证，核查了本所认为出具本法律意见书所需的相关文件、资料，并参加了公司本次股东会的全过程。本所保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并愿意承担相应法律责任。 本所同意将本法律意见书与本次股东会的决议一并进行公告，并依法对发表的法律意见承担相应法律责任。 鉴此，本所律师根据上述法律、法规、规章及规范性文件的要求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，现出具法律意见如下： 一、本次股东会召集人资格及召集、召开的程序 （一）本次股东会的召集 第三届董事会第十四次会议，决议召集本次股东会。 公司已于 2026 年 7 月 1 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）上公 开披露了《关于召开 2026 年第一次临时股东会的通知》。前述会议通知载明了本次股东会的召集人、召开日期和时间（包括现场会议日期、时间和网络投票日期、时间）、召开方式、股权登记日、出席对象、会议地点、会议审议事项、现场会议登记方法、参加网络投票的具体操作流程、会议联系人及联系方式。其中，公告刊登的日期距本次股东会的召开日期已达 15 日。 （二）本次股东会的召开 本次股东会现场会议于 2026 年 7 月 16 日 14 时 00 分在上海市浦东新区泰华 路 188 号中微公司二号楼三楼 2303 会议室如期召开，由公司董事长尹志尧主持。 本次股东会采取现场投票和网络投票相结合的方式召开。本次股东会通过上海证券交易所交易系统进行网络投票的具体时间为股东会召开当日的交易时间段，即 9:15-9:25，9:30-11:30，13:00-15:00；通过上海证券交易所互联网投票平台的投票时间为股东会召开当日的 9:15-15:00。 本所律师核查了本次股东会的召集召开过程，经本所律师核查，本次股东会召集人资格合法、有效，本次股东会召集、召开程序符合《公司法》《上市公司股东会规则》等法律、法规、规章和其他规范性文件以及《公司章程》的有关规定。 二、出席本次股东会会议人员的资格 （一）出席会议的股东及股东代理人 经核查，出席本次股东会的股东及股东代理人共 1,676 人，代表有表决权股份499,695,732股，所持有表决权股份数占公司股份总数的 55.1688%。 经本所律师验证，上述股东、股东代理人中，现场出席会议的股东及股东代理人均持有出席会议的合法证明，其出席会议的资格均合法有效；参加网络投票的股东资格，由网络投票系统提供机构验证其身份。 （二）出席会议的其他人员 经本所律师验证，出席及列席本次股东会的其他人员为公司董事和高级管理人员，其出席会议的资格均合法有效。 本所律师核查了现场出席的股东及代理人的身份资格以及上证所信息网络有限公司提供的参加网络投票的股东及有效表决情况，并查验了出席会议的董监高人员信息，公司本次股东会出席人员资格符合《公司法》《上市公司股东会规则》及《公司章程》的有关规定，合法有效。 三、本次股东会审议的议案 本次股东会共审议了 2 项议案： （一） 《关于参与设立私募投资基金暨关联交易的议案》 （二） 《关于增加注册资本并修订<公司章程>的议案》 经本所律师审核，公司本次股东会审议的议案属于公司股东会的职权范围，并且与召开本次股东会的通知公告中所列明的审议事项相一致；本次股东会现场会议未发生对通知的议案进行修改的情形。 四、本次股东会的表决程序及表决结果 经核查，出席会议的股东、股东代表或委托代理人依据《公司法》和《公司章程》的规定，以现场投票或网络投票的方式对列入股东会通知的议案进行了表决。其中，现场表决以记名投票方式进行，会议推举的计票人、监票人按《公司章程》《股东会规则》规定的程序进行点票、计票、监票，会议主持人当场公布了现场投票结果，出席现场会议的股东或委托代理人对现场投票结果没有提出异议，上证所信息网络有限公司提供了本次股东会网络投票结果统计表。 经合并统计现场投票和网络投票的结果，本次股东会审议的议案均已获得有效表决通过。 本所律师审核后认为，本次股东会表决程序符合《公司法》《上市公司股东会规则》等法律、法规、规章和其他规范性文件以及《公司章程》的有关规定，表决结果合法有效。 五、结论意见 综上所述，本所律师认为，公司 2026 年第一次临时股东会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格及表决程序等，均符合《公司法》《上市 公司股东会规则》等法律、法规、规章和其他规范性文件及《公司章程》的有关规定，本次股东会的表决结果合法有效。 本法律意见书一式贰份，经签字盖章后具有同等法律效力。 （以下无正文） 2026 7 16