证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-034 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 关于向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金 永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专 用结算账户的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 本次结项的募投项目名称：直写光刻设备产业应用深化拓展项目、IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目、关键子系统、核心零部件自主研发项目、补充流动资金项目 本次节余金额为 18,925.68 万元（含理财以及利息收入，最终转出金 额以资金转出当日银行结算余额为准），为提高资金使用效率，拟将节余募集资金永久补充流动资金，用于公司日常生产经营。 一、募集资金基本情况 发行名称 2022 年度向特定对象发行股票 募集资金总额 797,685,647.55 万元 募集资金净额 789,362,921.17 万元 募集资金到账时间 2023 年 7 月 25 日 根据中国证券监督管理委员会于 2023 年 3 月 15 日出具的《关于同意合肥芯 碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复 》（证监许可[2023]563 号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行10,497,245 股人民币普通股，募集资金总额为人民币 797,685,647.55 元，扣除 相关发行费用（不含税）人民币 8,322,726.38 元，募集资金净额为人民币 789,362,921.17 元。上述资金已于 2023 年 7 月 25 日全部到位，并存放于公司 开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进 行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字 [2023]230Z0198 号） 公司已对上述募集资金进行了专户存储，并与保荐人、募集资金专户开户银 行签署了募集资金监管协议。 二、本次募投项目结项及募集资金节余情况 （一）本次结项募投项目募集资金的存储及节余情况 公司本次结项的募集资金投资项目为“直写光刻设备产业应用深化拓展项 目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、“关键子系统、核心零部件 自主研发项目”、“补充流动资金项目” ，以上项目均已基本完成投资，产线及 设备已达到可使用状态并投入使用。 （二）本次结项募集资金专户存储情况 截止 2026 年 6 月 30 日，本次结项募集资金投资项目“直写光刻设备产业应 用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、“关键子系统、 核心零部件自主研发项目”、“补充流动资金项目” ，募集资金存储情况如下： 单位：人民币万元 项目名称 开户银行 银行账号 尚未使用的募集 资金金额 直写光刻设备产业应 招商银行合肥分行营业部 551906776410802 7,935.91 用深化拓展项目 IC 载板、类载板直写 徽商银行股份有限公司安 光刻设备产业化项目 徽自贸试验区合肥片区支 522001541721000002 5,889.55 行 关键子系统、核心零 中信银行股份有限公司合 8112301012100947766 5,100.22 部件自主研发项目 肥分行营业部 补充流动资金项目 中国光大银行合肥长江西 76670180803908811 0 路支行 募集资金承 募集资金实 利息收入扣除 节余募集 结项名称 结项时间 诺使用金额 际使用金额 手续费后净额 资金金额 （万元） （万元） （万元） （万元） 直写光刻设备产业 2026年7月 25,765.73 19,183.07 1,353.24 7,935.91 应用深化拓展项目 24 日 IC 载板、类载板直 2026年7月 写光刻设备产业化 24 日 17,583.75 12,577.34 883.13 5,889.55 项目 关键子系统、核心零 2026年7月 15,172.00 10,774.57 702.79 5,100.22 部件自主研发项目 24 日 补充流动资金项目 2026年7月 20,414.81 21,123.91 709.10 0 24 日 节余募集资金合计金额 18,925.68 万元 节余募集资金使用用途及相应金 √补流，18,925.68 万元 额 注 1：上述结项的募投项目的节余募集资金包含了利息及现金管理收益扣除 手续费后净额，节余金额系截止 2026 年 6 月 30 日数据，最终转入公司自有资金 账户的实际金额以资金转出当日该项目募集资金专户余额为准； 注 2：上述数据存在尾差为计算时四舍五入所致。 三、募集资金节余主要原因 （一）公司在项目实施过程中，严格遵循募集资金使用的相关规定，结合项 目实际，秉持合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎 使用募集资金，加强对各环节费用的控制、监督与管理，合理调度和优化配置 各项 资源，有效降低项目建设成本与费用。 （二）因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建 设进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了 募集资金的使用效率，增加了公司收益。 四、本次拟结项募投项目节余募集资金的使用计划 为提高资金使用效率，合理配置资金，并结合公司实际情况，上述募投项目 结项后，公司拟将节余募集资金合计 18,925.68 万元（含理财以及利息收入， 最终转出金额以资金转出当日银行结算余额为准）永久补充流动资金，用于公 司日常生产经营。 五、募集资金专户及募集资金理财产品专用结算账户注销情况 开户银行 银行账号 账户类别 账户状态 招商银行合肥分行营 业部 551906776410802 募集资金专户 本次注销 徽商银行股份有限公 司安徽自贸试验区合 522001541721000002 募集资金专户 本次注销 肥片区支行 中信银行股份有限公 司合肥分行营业部 8112301012100947766 募集资金专户 本次注销 中国光大银行合肥长 江西路支行 76670180803908811 募集资金专户 本次注销 中国民生银行股份有 限公司合肥分行营业 641033347 理财专户 本次注销 部 南洋商业银行（中国） 有限公司合肥分行 0434430000486217 理财专户 本次注销 兴业银行股份有限公 司合肥黄山路支行 499060100100334355 理财专户 本次注销 申万宏源证券有限公 司合肥望江西路营业 5612019999 理财专户 本次注销 部 海通证券股份有限公 司合肥黄山路营业部 1750202715 理财专户 本次注销 公司将尽快办理完成上述相关募集资金专户及募集资金产品理财专用账户 的注销手续。上述募集资金专用账户注销后，公司签署的相关募集资金专户存 储监管协议随之终止。 六、本次将节余募集资金永久补充流动资金的影响 本次将节余募集资金永久补充流动资金用于公司日常生产经营活动，是公司根据项目实 施情况及公司自身经营情况做出的审慎决定，不存在改变或变相改变募集资金投向和损害 股东利益的