证券代码：688785 证券简称：恒运昌 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 编号：2026-014 ☑特定对象调研□分析师会议 □媒体采访□业绩说明会 投资者关系活动 □新闻发布会□路演活动 类别 □现场参观 □其他 （请文字说明其他活动内容） 平安资管、长江证券、易方达基金、汇添富基金、国联民生、中宏 参与机构名称 人寿、太平资产、天风证券、富国基金 7.15 10:00-11:00 长江证券、平安资管 14:00-15:00 易方达基金、天风证券 时间 7.21 16:30-18:00 汇添富基金、国联民生、中宏人寿、太平资产 7.23 13:30-14:30 富国基金 地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋 公司接待人员 董事长、总经理 乐卫平 董事会秘书 庄丽华 姓名 投资者关系专员 郝一骏 1. 请问公司目前的营收结构、在手订单及客户拓展情况如何？ 投资者关系活动 回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，以来自自研产品的 主要内容介绍 收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创 、微导纳米等。2026年一季度公司实现营业收入 1.24 亿元。截至 公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约 1.57 亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和 客户需求，不断进行新产品的研发设计，结合公司丰富的技术和生 产经验，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化 应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳 定发展。同时，公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板 、精密光学等领域的拓展，不断提升公司产品性能与质量，并拓宽 公司产品品类，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体 解决方案的平台型公司，助力公司长期稳定发展。 2. 请介绍一下公司产品等离子体射频电源系统的应用领域与产品特 点 回答：公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的 薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，并应用于光 伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子 体清洗等工业生产环节。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、 一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得 到设备商及晶圆厂的双重认证。同时，等离子体射频电源系统定制化程度较高，在公司与下游设备厂商合作过程中，一般由下游客户向公司提供产品技术指标要求和功能要求，公司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。 半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。历经十余年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar 四代产品系列等离子体射频电源系统。截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统 Cedar 系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。 3. 请问公司的射频电源和匹配器都是配套出售的吗？ 回答：客户可根据自身需求，单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等离子体射频电源和配套的匹配器。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列的匹配器产品配套使用，同系列中的等离子体射频电源和匹配器亦不会有固定的配套关系。4. 请介绍一下公司主营产品的验证周期 回答：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证周期长。公司早在2018年与拓荆科技率先开展等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，历经2年多的合作验证，产品于2020年下半年开始逐步批量交付拓荆科技。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商均加速核心零部件国产化，所有半导体装备商的验证周期都在同步压缩，同一客户其他系列产品的验证时间也相应减少，公司产品的整体认证周期也逐步缩短。 5. 请介绍一下公司引进产品的未来业务规划 回答：公司的引进产品与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。引进产品的产品种类将聚焦于目前的真空泵、质量流量计、等离子体直流电源，将进一步拓展客户范围，其中真空泵客户目前以精密光学镀膜及半导体设备客户为主，公司将拓展更多半导体、光伏及显示面板客户的应用，在公司其他自研产品客户中拓展市场空间；质量流量计目前收入较少，集中于精密光学镀膜客户，公司将拓展在半导体、光伏及显示面板等领域的市场空间，同时加快自研质量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品的验证和销售；引进的等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学领域客户为主，公司自研的等离子体直流电源已批量出货，引进和自研等离子体直流电源相互补充，为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。此外，随着公司资本实力的提升，公司未来将借助外部并购等战略举措，积极物色境内外优质的标的和技术，以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服务。 6. 请介绍一下公司上游元器件的国产化进程 回答：公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资 质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因 素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合 要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态 管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。为保证生产的连续和 稳定性，公司综合考虑原材料的采购周期、供应商的供货能力、采 购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。自 2021 年 开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU 以 及 SiC MOS、LDMOS、部分 ADC 和 FPGA 等元器件的国产化应用。 公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的 全面国产化验证工作。 7. 请介绍一下公司目前的产能情况及产能未来布局 回答：2025年公司产能利用率达 98.51%。公司通过多个措施提升产 能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设 与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能 建设，加速产能落地；公司未来将逐步推进半导体与真空装备核心 零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能 的释放，为公司产能持续提升奠定基础。 以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。