【财联社】该设备已在盛美上海临港实验室完成了工艺指标验证，现已发往客户端进行最终验证。Track方面，2025年9月，公司向主要客户交付了高产能KrF工艺Track设备，该设备产能超过每小时300片晶圆，预计2026年进入量产验证阶段。