【捷佳伟创出货光掩膜清洗设备】据捷佳伟创消息，近日，公司子公司创微微电子（常州）有限公司（简称“创微微电子”）自主研发的光掩模清洗设备在多家终端Fab厂完成验证并实现量产交付，提供的设备在颗粒控制、无水痕、表面洁净度上都满足先进制程要求。