【证券日报】无锡暖芯打造一体化温控方案，自研PID算法实现±0.1℃高精度控温，覆盖芯片制造全流程定制化温控需求；致源真空依托技术联合攻关，搭建全覆盖自产分子泵矩阵，产品对标普发、爱德华、荏原等海外巨头，适配PVD、CVD、刻蚀等工艺及应用材料、东京电子、泛林等主流设备厂商，可应用12英寸先进制程核心工艺腔
锴威特拟收购晶艺半导体 100%股权，交易涉及发行股份及募集资金，需关注后续审批进展及市场反应。
拟通过发行股份及支付现金的方式向易坤等