北方华创：臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系

【证券日报】8月11日，北方华创在互动平台回答投资者提问时表示，随着半导体制程持续演进，器件结构与材料体系日趋复杂，清洗技术路线呈现多技术协同、分场景适配的特征。臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系。