半导体设备龙头，公布35亿元投资计划

【上海证券报】中微公司董事长尹志尧表示，未来五年将通过自主开发与外延并购，覆盖至少60%以上、超100种半导体高端设备，在先进封装领域覆盖70%以上的关键设备。