【证券日报】此次突破，标志着中微公司在高端薄膜沉积设备领域已实现规模化商用，产品技术、性能稳定性与量产交付能力均获得客户广泛认可，薄膜设备业务已成长为该公司又一核心增长板块，中微公司平台化进程正迈入全面规模化发展的新阶段。