【证券日报之声】中微公司此次推出的PrimoXD-RIE刻蚀机，可实现70:1到90:1的极高深宽比刻蚀。 中微公司资深副总裁丛海向《证券日报》记者介绍，PrimoXD-RIE依托完全自主知识产权研发打造，在多项有专利保护的核心技术上实现突破。