半导体设备市场年超千亿美元，尹志尧：行业整合是必然，中微将投130亿开发100种设备

【国际金融报】尹志尧在论坛现场介绍，中微公司过去十几年间与美国三家头部企业打过4场重大专利官司，两胜两平，从未败诉。 “目前中微集成电路设备整体市场覆盖率大约35%，以刻蚀为主，部分薄膜，少量检测与CMP设备。”