中微多款高端半导体设备齐发 五年目标覆盖60%+高端设备市场

【21世纪经济报道】中微公司介质沉积产品部总经理谷勋告诉记者，中微公司已经开发和正在开发更多的薄膜设备，在五年内将开发出二十多种新的高端薄膜设备，助力7纳米到3纳米以及更先进的逻辑器件和300层到500层以上及更先进的存储器件的需求。